CV-5000型電容電壓特性測(cè)試儀

在集成電路特別是MOS電路的生產(chǎn)和開(kāi)發(fā)研制中，MOS電容的C-V測(cè)試是極為重要的工藝過(guò)程監(jiān)控測(cè)試手段，通過(guò)C-V測(cè)試達(dá)到優(yōu)化生產(chǎn)過(guò)程中的工藝參數(shù)，提高IC成品率。

      MOS（金屬－氧化物－半導(dǎo)體）結(jié)構(gòu)的電容是外加偏置電壓的函數(shù)，MOS電容隨外加電壓變化的曲線稱之為C-V曲線（簡(jiǎn)稱C－V特性）。C-V曲線與半導(dǎo)體的導(dǎo)電類型及其摻雜濃度、SiO2-Si系統(tǒng)中的電荷密度有密切的關(guān)系。 利用實(shí)際測(cè)量到的MOS結(jié)構(gòu)的C-V曲線與理想的MOS結(jié)構(gòu)的C-V特性曲線比較，可求得氧化硅層厚度、襯底摻雜濃度、氧化層中可動(dòng)電荷面密度、和固定電荷面密度等參數(shù)。

     另外作為組成半導(dǎo)體器件的基本結(jié)構(gòu)的PN結(jié)具有電容效應(yīng)（勢(shì)壘電容）。加正向偏壓時(shí)，PN結(jié)勢(shì)壘區(qū)變窄，勢(shì)壘電容變大；加反向偏壓時(shí)，PN結(jié)勢(shì)壘區(qū)變寬，勢(shì)壘電容變小。

CV-5000型電容電壓特性測(cè)試儀是測(cè)試頻率為1MHz的智能化數(shù)字的電容測(cè)試儀器，既可用于測(cè)試半導(dǎo)體器件PN結(jié)的勢(shì)壘電容在不同偏壓下的電容量，也可進(jìn)行Mos電容的外加電壓掃描測(cè)試，還可測(cè)試其它MIS電容。

該電容電壓特性測(cè)試系統(tǒng)由主機(jī)和上位機(jī)（PC）組成，并在軟件控制下完成校準(zhǔn)及測(cè)試等功能，同時(shí)顯示C-V電容電壓特性曲線。主機(jī)面板上的發(fā)光二極管指示儀器的工作狀態(tài)，用數(shù)碼管組成的顯示板，將被測(cè)元件的數(shù)值，小數(shù)點(diǎn)清晰地顯示出來(lái)。儀器有較高的分辨率，電容量是五位讀數(shù)，可分辮到0.001pF，偏置電壓分辨力為0.1V，漏電流分辨力為0.01uA。

儀器配有專用CV-5000型測(cè)量座，接插元件靈活，方便可靠

CV-5000型電容電壓特性測(cè)試儀軟件測(cè)試系統(tǒng)是一個(gè)運(yùn)行在計(jì)算機(jī)上擁有友好測(cè)試界面的用戶程序，程序操作直觀易用。測(cè)試程序在計(jì)算機(jī)與CV-5000型電容電壓特性測(cè)試測(cè)試儀連接的狀態(tài)下，通過(guò)計(jì)算機(jī)的USB口實(shí)現(xiàn)通訊。
  

測(cè)試程序控制電容電壓特性測(cè)試測(cè)試儀進(jìn)行測(cè)量并采集測(cè)試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加以分析，然后把測(cè)試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來(lái)。用戶可對(duì)采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中，讓用戶對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。